Синтез слоев нитрида кремния при взаимодействии моносилана и аммиака в реакторе пониженного давления: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (02.00.01) / АН СССР, Сиб. отд.-ние Ин-т неорган. химии
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Попов, В. П. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1990 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr28674660000 | ||
| 005 | 20070529154347.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070529d1990 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Синтез слоев нитрида кремния при взаимодействии моносилана и аммиака в реакторе пониженного давления $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (02.00.01) $f АН СССР, Сиб. отд.-ние Ин-т неорган. химии |
| 210 | # | # | $a Новосибирск $d 1990 |
| 215 | # | # | $a 20 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 19-20 (9 назв.) |
| 686 | # | # | $a 02.00.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Попов $b В. П. $g Валерий Петрович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070529 $g psbo |