Нитрид кремния, синтезированный в реакторе пониженного давления из тетрахлорида кремния и аммиака: осаждение, свойства, использование: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1987 годы) / И. А. Голод [и др.]

Сохранено в:
Шифр документа: 205801-1,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Голод, И. А.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1988
Физические характеристики: 43 с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1988, вып. 1

1988, №1: Нитрид кремния, синтезированный в реакторе... / Голод И. А.

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
205801-1 ОФХ журналов и продолжающихся изданий (050) 14:2 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал