Синтез слоев нитрида кремния при взаимодействии моносилана и аммиака в реакторе пониженного давления [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (02.00.01)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Попов, В. П. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1990 |
| Физические характеристики: |
190 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||