Синтез слоев нитрида кремния при взаимодействии моносилана и аммиака в реакторе пониженного давления: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (02.00.01) / АН СССР, Сиб. отд.-ние Ин-т неорган. химии
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Попов, В. П. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1990 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||