Установка для получения пленок нитрида кремния
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. , 1968 |
| Физические характеристики: |
1 л. слож. в 2 с. : илл.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Передовой науч.-техн. и производ. опыт
№ 5-68-423/29 |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||