|
|
|
|
|
00000nam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr27744550000 |
| 005 |
20071221125847.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 3 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [68-102282]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071221d1968 y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Установка для получения пленок нитрида кремния
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 1968
|
| 215 |
# |
# |
$a 1 л. слож. в 2 с.
$c илл.
|
| 225 |
2 |
# |
$a Передовой науч.-техн. и производ. опыт
$f Объединение по руководству науч.-техн. информацией и... ГОСИНТИ
$v № 5-68-423/29
|
| 300 |
# |
# |
$a Перед загл. авт.: П. В. Павлов, Э. В. Шитова, В. Н. Ваганова и Е. И. Зорин
|
| 675 |
# |
# |
$a 539.216.2
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071221
$g psbo
|
