Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-реактивном распылении: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.10)
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бурдовицин, В. А. |
| Опубликовано: | Томск , 1981 |
| Физические характеристики: |
19 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||