Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-реактивном распылении: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.12.10)
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Бурдовицин, В. А. |
| Veröffentlicht: | Томск , 1981 |
| Beschreibung: |
19 с.
|
| Sprache: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||