Разработка методики и аппаратуры для моделирования ионно-лучевых технологических процессов формирования пленочных структур изделий микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Мин. радиотехн. ин-т
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Левчук, Н. Е. |
| Wydane: | Мн. , 1985 |
| Opis fizyczny: |
20 с.
|
| Język: | Русский |