Разработка методики и аппаратуры для моделирования ионно-лучевых технологических процессов формирования пленочных структур изделий микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.01) / Мин. радиотехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Левчук, Н. Е. |
| Опубликовано: | Мн. , 1985 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000cam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr14122770000 | ||
| 005 | 20220119133342.0 | ||
| 100 | # | # | $a 20070319d1985 y0rusy50 ||||ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a BY |
| 200 | 1 | # | $a Разработка методики и аппаратуры для моделирования ионно-лучевых технологических процессов формирования пленочных структур изделий микроэлектроники $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $e (05.27.01) $f Мин. радиотехн. ин-т |
| 210 | # | # | $a Мн. $d 1985 |
| 215 | # | # | $a 20 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 19-20 (7 назв.). Для служеб. пользования |
| 686 | # | # | $a 05.27.01 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Левчук $b Н. Е. $g Николай Евгеньевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070319 $g psbo |