Разработка основ технологии создания маскирующих слоев для БИС методом лазерной вакуумной проекционной литографии: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук: (05.27.01) / Мин.радиотехн.ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Бокша, В. В. |
| Опубликовано: | Мн. , 1992 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||