Разработка основ технологии создания маскирующих слоев для БИС методом лазерной вакуумной проекционной литографии: Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук: (05.27.01) / Мин.радиотехн.ин-т
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| 1. autor: | Бокша, В. В. |
| Wydane: | Мн. , 1992 |
| Opis fizyczny: |
21 с.
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||