|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br187624 |
| 005 |
20181011121734.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 19930101d1992 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a y m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Разработка основ технологии создания маскирующих слоев для БИС методом лазерной вакуумной проекционной литографии
$e Автореф.дис.на соиск.учен.степ.канд.техн.наук: (05.27.01)
$f Мин.радиотехн.ин-т
|
| 210 |
# |
# |
$a Мн.
$d 1992
|
| 215 |
# |
# |
$a 21 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Для служеб.пользования.Экз.N.-- Библиогр.:с.18-20 (16 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2105390
$a БОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2105397
$a ВЯЛІКІЯ ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2473268
$a ПРОЕКЦИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2473270
$a ПРАЕКЦЫЙНАЯ ЛІТАГРАФІЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar8464145
$a ЛАЗЕРНАЯ ЛИТОГРАФИЯ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar8464525
$a ЛАЗЕРНАЯ ЛІТАГРАФІЯ
$2 DVNLB
|
| 610 |
0 |
# |
$a Маскирующие слои
|
| 610 |
0 |
# |
$a Маскіруючыя слаі
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.771.14.002(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-258700
$a Бокша
$b В. В.
$g Виктор Владимирович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 19930101
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060315
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/AD/Ba250556.pdf
|
