Разработка системы сомещения установок и гибких производственных модулей электронной проекционной литографии для производства СБИС с субмикронными размерами элементов: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: (05.27.07) / Моск. ин-т электрон. машиностроения
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Громов, В. И. |
| Опубликовано: | М. , 1987 |
| Физические характеристики: |
27 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||