Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Наливайко Олег Юрьевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Наливайко, О. Ю. |
| Опубликовано: | Минск , 2022 |
| Физические характеристики: |
199 л. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
Зал диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Без заказа | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||