Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.01 / Турцевич Аркадий Степанович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Турцевич, А. С. (род. 1958) |
| Опубликовано: | Минск , 2010 |
| Физические характеристики: |
52 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||