Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.01 / Турцевич Аркадий Степанович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Турцевич, А. С. (род. 1958) |
| Апублікавана: | Минск , 2010 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
52 с. : ил.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 2 , даступна: 2 | Даступна Замовіць | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||