|
|
|
|
|
00000cbm0a2200000 id4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001834209 |
| 005 |
20230519145344.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20230418h20222022k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a BY
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ab
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния
$e диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
$e специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
$f Наливайко Олег Юрьевич
$g научный руководитель Турцевич Аркадий Степанович
$g Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"
|
| 210 |
# |
# |
$a Минск
$d 2022
|
| 215 |
# |
# |
$a 199 л.
$c ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: л. 162—175
|
| 328 |
# |
0 |
$d Защищена 06.10.2022, утверждена 25.01.2023
|
| 333 |
# |
# |
$a Электронная копия размещена с разрешения автора
|
| 488 |
# |
0 |
$1 001BY-NLB-br0001786305
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2246902
$a КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3334434
$a СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33870
$a ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1659663
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3171698
$a ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar15827
$a ЛЕГИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar36350
$a ФОСФОР
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6196
$a ВОЛЬФРАМ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2493283
$a ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1733874
$a ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar4760361
$a ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЕ ПОЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33874
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar33866
$a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77-027.3:621.793/.794(043.3)
$v 4
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.22.01
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 nsnrrb
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2502673
$a Наливайко
$b О. Ю.
$g Олег Юрьевич
$c кандидат технических наук, электроника
|
| 702 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2502584
$a Турцевич
$b А. С.
$g Аркадий Степанович
$c доктор технических наук
$f род. 1958
$4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar186905
$a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
$c Минск
$4 995
$4 595
|
| 712 |
0 |
2 |
$3 BY-NLB-ar7184106
$a "Интеграл" — управляющая компания холдинга "Интеграл"
$g открытое акционерное общество
$c Минск
$4 595
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20220825
$g RCR
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://dep.nlb.by/jspui/bitstream/nlb/57946/2/default.html
|
