Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.01: защищена 23.04.10: утверждена 22.12.10 / Турцевич Аркадий Степанович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Турцевич, А. С. (род. 1958) |
| Опубликовано: | Минск , 2009 |
| Физические характеристики: |
483 л. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
Зал диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Без заказа | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||