Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.01 / Турцевич Аркадий Степанович

Guardado en:
Шифр документа: 2Н//82879(039), 2Н//82880(039),
Formato: Авторефераты диссертаций
Autor principal: Турцевич, А. С. (род. 1958)
Publicado: Минск , 2010
Descripción Física: 52 с. : ил.
Lenguaje: Русский
Materias:
СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ
ЛЕГКОПЛАВКОЕ СТЕКЛО
ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
ВОЛЬФРАМ
МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
СЕЛЕКТИВНОЕ ОКИСЛЕНИЕ
МИКРОСТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ
ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
Acceso en línea: E-документ

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 2 , доступно: 2 Disponible  Hacer reserva

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2Н//82879(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:3:88 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал
2Н//82880(039) ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:3:88 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал

Ejemplares similares