Исследование и разработка систем программного регулирования температуры в электропечах для производства полупроводниковых приборов и микросхем: (05.13.07): Автореф дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Скоробогатый, А. С. |
| Опубликовано: | Л. , 1979 |
| Физические характеристики: |
15 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||