Исследование и разработка систем программного регулирования температуры в электропечах для производства полупроводниковых приборов и микросхем: (05.13.07): Автореф дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Скоробогатый, А. С. |
| Апублікавана: | Л. , 1979 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
15 с.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||