Исследование и разработка систем программного регулирования температуры в электропечах для производства полупроводниковых приборов и микросхем: (05.13.07): Автореф дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Скоробогатый, А. С. |
| Опубликовано: | Л. , 1979 |
| Физические характеристики: |
15 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr30795630000 | ||
| 005 | 20070619134232.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [79-2723а] |
| 100 | # | # | $a 20070619d1979 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Исследование и разработка систем программного регулирования температуры в электропечах для производства полупроводниковых приборов и микросхем $e (05.13.07) $e Автореф дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук |
| 210 | # | # | $a Л. $d 1979 |
| 215 | # | # | $a 15 с. |
| 300 | # | # | $a В надзаг.: Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина). Список работ авт.: с. 14-15 (4 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.13.07 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Скоробогатый $b А. С. $g Анатолий Сергеевич |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070619 $g psbo |