Очистка поверхности и фотолитография в производстве полупроводниковых интегральных микросхем: Учеб. пособие по курсу «Технология интегр. микросхем» / [М. А. Ревелева, М. А. Королев, В. В. Игнатьев и др.]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | М. : МИЭТ , 1985 |
| Физические характеристики: |
98 с. : ил. ; 20 см
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||