Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем: [Учеб. пособие для техн. уч-щ]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Мокеев, О. К. |
| Опубликовано: | М. : Высш. школа , 1979 |
| Физические характеристики: |
272 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Профтехобразование. Радиоэлектроника
|
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||