|
|
|
|
|
00000cam0a22000001ib4500 |
| 001 |
BY-NLB-rr24473590000 |
| 005 |
20160316150641.0 |
| 010 |
# |
# |
$d 30 к.
|
| 021 |
# |
# |
$a RU
$b [85-104398]
|
| 100 |
# |
# |
$a 20071113d1985 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 200 |
1 |
# |
$a Очистка поверхности и фотолитография в производстве полупроводниковых интегральных микросхем
$e Учеб. пособие по курсу «Технология интегр. микросхем»
$f [М. А. Ревелева, М. А. Королев, В. В. Игнатьев и др.]
$g Под ред. М. А. Ревелевой
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$c МИЭТ
$d 1985
|
| 215 |
# |
# |
$a 98 с.
$c ил.
$d 20 см
|
| 300 |
# |
# |
$a Авт. указаны на обороте тит. л. В надзаг.: Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.: с. 97 (8 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 300 экз.
|
| 610 |
0 |
# |
$a Микроэлектронные схемы интегральные - Производство
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.77.002:776(075.8)
|
| 701 |
# |
1 |
$a Ревелева
$b М. А.
|
| 711 |
0 |
2 |
$a Московский ин-т электронной техники
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20071113
$g psbo
|
