Разработка методов и алгоритмов косвенного контроля параметров сложных технологических процессов: (05.13.01 ; 05.13.05): (В приложении к процессу электроосаждения) : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук / Харьк. ин-т радиоэлектроники им. М. К. Янгеля
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Копылов, Г. В. |
| Опубликовано: | Харьков , 1992 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||