Разработка методов и алгоритмов косвенного контроля параметров сложных технологических процессов: (05.13.01 ; 05.13.05): (В приложении к процессу электроосаждения) : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук / Харьк. ин-т радиоэлектроники им. М. К. Янгеля
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Копылов, Г. В. |
| Published: | Харьков , 1992 |
| Physical Description: |
23 с.
|
| Language: | Russian |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||