Разработка методов и алгоритмов косвенного контроля параметров сложных технологических процессов: (05.13.01 ; 05.13.05): (В приложении к процессу электроосаждения) : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук / Харьк. ин-т радиоэлектроники им. М. К. Янгеля
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Копылов, Г. В. |
| Опубликовано: | Харьков , 1992 |
| Физические характеристики: |
23 с.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr12685140000 | ||
| 005 | 20070221171730.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [92-1555а] |
| 100 | # | # | $a 20070221d1992 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a UA |
| 200 | 1 | # | $a Разработка методов и алгоритмов косвенного контроля параметров сложных технологических процессов $e (05.13.01 ; 05.13.05) $e (В приложении к процессу электроосаждения) : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук $f Харьк. ин-т радиоэлектроники им. М. К. Янгеля |
| 210 | # | # | $a Харьков $d 1992 |
| 215 | # | # | $a 23 с. |
| 300 | # | # | $a Библиогр.: с. 22-23 (11 назв.) |
| 686 | # | # | $a 05.13.01 $2 oksvnk |
| 686 | # | # | $a 05.13.05 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Копылов $b Г. В. $g Геннадий Викторович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070221 $g psbo |