Радиочастотный масс-спектрометр для контроля состава вещества в пленочной технологии микроэлектроники: (05.12.08): (Исследование, разраб. и применение). Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Новосиб. электротехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Каплин, В. А. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1974 |
| Физические характеристики: |
26 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||