Радиочастотный масс-спектрометр для контроля состава вещества в пленочной технологии микроэлектроники: (05.12.08): (Исследование, разраб. и применение). Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Новосиб. электротехн. ин-т
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Каплин, В. А. |
| 出版: | Новосибирск , 1974 |
| 實物描述: |
26 с. : черт.
|
| 語言: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||