Радиочастотный масс-спектрометр для контроля состава вещества в пленочной технологии микроэлектроники: (05.12.08): (Исследование, разраб. и применение). Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук / Новосиб. электротехн. ин-т
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Каплин, В. А. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 1974 |
| Физические характеристики: |
26 с. : черт.
|
| Язык: | Русский |
| 00000nam0a22000001ia4500 | |||
| 001 | BY-NLB-rr11519760000 | ||
| 005 | 20070129142507.0 | ||
| 021 | # | # | $a RU $b [75-866а] |
| 100 | # | # | $a 20070129d1974 y0rusy50 ca |
| 101 | 0 | # | $a rus |
| 102 | # | # | $a RU |
| 200 | 1 | # | $a Радиочастотный масс-спектрометр для контроля состава вещества в пленочной технологии микроэлектроники $e (05.12.08) $e (Исследование, разраб. и применение). Автореф. дис. на соиск. учен. степени канд. техн. наук $f Новосиб. электротехн. ин-т |
| 210 | # | # | $a Новосибирск $d 1974 |
| 215 | # | # | $a 26 с. $c черт. |
| 300 | # | # | $a Список лит.: с. 23-26 |
| 686 | # | # | $a 05.12.08 $2 oksvnk |
| 700 | # | 1 | $a Каплин $b В. А. $g Валерий Александрович |
| 801 | # | 1 | $a BY $b BY-HM0000 $c 20070129 $g psbo |