Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Фатьянова Галина Ивановна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Фатьянова, Г. И. |
| Опубликовано: | Москва , 2005 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||