Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумных систем и эксплуатационых характеристик промышленного оборудования тонкопленочной технологии: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06 / Капустин Евгений Николаевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад88786,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Капустин, Е. Н.
Опубликовано: М. , 2003
Физические характеристики: 20 с.
Язык: Русский

ОФХ отдела книгохранения

Всего : 1 , доступно: 1 Доступно  Заказать

Информация об экземплярах

Шифр Фонд Место нахождения Статус экземпляра Читальный зал
2Ад88786 ОФХ отдела книгохранения (039) 11:4:2:78 СВОБОДЕН Рекомендованный ЧитЗал