Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Фатьянова Галина Ивановна

Сохранено в:
Шифр документа: 2АД144972,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Фатьянова, Г. И.
Опубликовано: Москва , 2005
Физические характеристики: 22 с.
Язык: Русский
Предмет:
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
НАНОЭЛЕКТРОНИКА
ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫЕ ПРИБОРЫ
ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА
ЭЛЕМЕНТНАЯ БАЗА
ТЕХНИЧЕСКИЙ УРОВЕНЬ
ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ
ОПЫТНО-КОНСТРУКТОРСКИЕ РАБОТЫ
МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
ВАКУУМНЫЯ ТЭХНАЛОГІІ
НАНАЭЛЕКТРОНІКА
ЭЛЕКТРОННА-ПРАМЯНЁВЫЯ ПРЫБОРЫ
ІОННА-ПРАМЯНЁВАЯ АПРАЦОЎКА
ТЭХНІЧНЫ ЎЗРОВЕНЬ
ТЭАРЭТЫЧНЫЯ ДАСЛЕДАВАННІ
ЭКСПЕРЫМЕНТАЛЬНЫЯ ДАСЛЕДАВАННІ
ВОПЫТНА-КАНСТРУКТАРСКІЯ РАБОТЫ
ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br773819
005 20220412165240.0
100 # # $a 20051117d2005 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a ru 
105 # # $a a 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e 05.27.06  $f Фатьянова Галина Ивановна  $g [Московский государственный институт электроники и математики] 
210 # # $a Москва  $d 2005 
215 # # $a 22 с. 
300 # # $a Библиография: с. 20-22 (34 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4867  $a ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar45117  $a НАНОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39156  $a ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВЫЕ ПРИБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12162  $a ИОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39330  $a ЭЛЕМЕНТНАЯ БАЗА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39331  $a ЭЛЕМЕНТНАЯ БАЗА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33820  $a ТЕХНИЧЕСКИЙ УРОВЕНЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38712  $a ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21897  $a ОПЫТНО-КОНСТРУКТОРСКИЕ РАБОТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar4868  $a ВАКУУМНЫЯ ТЭХНАЛОГІІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar45118  $a НАНАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar39157  $a ЭЛЕКТРОННА-ПРАМЯНЁВЫЯ ПРЫБОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar12163  $a ІОННА-ПРАМЯНЁВАЯ АПРАЦОЎКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33821  $a ТЭХНІЧНЫ ЎЗРОВЕНЬ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33331  $a ТЭАРЭТЫЧНЫЯ ДАСЛЕДАВАННІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar38713  $a ЭКСПЕРЫМЕНТАЛЬНЫЯ ДАСЛЕДАВАННІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar21898  $a ВОПЫТНА-КАНСТРУКТАРСКІЯ РАБОТЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33330  $a ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ИССЛЕДОВАНИЯ  $2 DVNLB 
686 # # $a 47.13.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.13.33  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
700 # 1 $3 BY-SEK-659987  $a Фатьянова  $b Г. И.  $g Галина Ивановна 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20051117  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060901  $g psbo 

Схожие документы