Физико-технологические основы проектирования кремниевых интегральных мультисенсоров давления-температуры, пьерорезистивных сенсоров давления с трехмерными микромеханическими мембранными структурами для микросистемной техники: автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.01 / Соколов Леонид Владимирович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Соколов, Л. В. |
| Опубликовано: | М. , 2003 |
| Физические характеристики: |
45 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||