Физико-технологические основы проектирования кремниевых интегральных мультисенсоров давления-температуры, пьерорезистивных сенсоров давления с трехмерными микромеханическими мембранными структурами для микросистемной техники: автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.01 / Соколов Леонид Владимирович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Соколов, Л. В. |
| Апублікавана: | М. , 2003 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
45 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||