|
|
|
|
|
00000cam0a22000004ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br696544 |
| 005 |
20070615192434.4 |
| 100 |
# |
# |
$a 20050312d2003 u y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a ru
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 001yy
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ac
|
| 200 |
1 |
# |
$a Физико-технологические основы проектирования кремниевых интегральных мультисенсоров давления-температуры, пьерорезистивных сенсоров давления с трехмерными микромеханическими мембранными структурами для микросистемной техники
$e автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук
$e 05.27.01
$f Соколов Леонид Владимирович
$g [Моск. гос. авиац. ин-т, Федер. гос. унитар. предприятие "Науч.-исслед. ин-т авиац. оборудования"]
|
| 210 |
# |
# |
$a М.
$d 2003
|
| 215 |
# |
# |
$a 45 с.
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: с. 41-45 (48 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar29804
$a СЕНСОРНЫЕ УСТРОЙСТВА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar52876
$a ТВЕРДОТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11906
$a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18282
$a МИКРОПРОЦЕССОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar29805
$a СЕНСАРНЫЯ ЎСТРОЙСТВЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar52877
$a ЦВЕРДАЦЕЛЬНЫЯ ПРЫБОРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18297
$a МІКРАСІСТЭМНАЯ ТЭХНІКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18296
$a МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar11907
$a ІНТЭГРАЛЬНЫЯ СХЕМЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18283
$a МІКРАПРАЦЭСАРЫ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 55.47.29
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 50.09.33
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 34.53.19
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.33.31
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.01
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-582115
$a Соколов
$b Л. В.
$g Леонид Владимирович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20050312
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
