Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях: Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06: Защищена 25.06.02: Утв. 23.04.03 / Завадский Сергей Михайлович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Завадский, С. М. |
| Опубликовано: | Мн. , 2002 |
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||