Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях: Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06: Защищена 25.06.02: Утв. 23.04.03 / Завадский Сергей Михайлович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Завадский, С. М. |
| Published: | Мн. , 2002 |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ диссертаций
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||