|
|
|
|
|
00000cam0a22000004id4500 |
| 001 |
BY-NLB-br570443 |
| 005 |
20210112142146.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20040113d2002 u y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a by
|
| 105 |
# |
# |
$a a 000yy
|
| 106 |
# |
# |
$a h
|
| 109 |
# |
# |
$a aa
$a ab
|
| 200 |
1 |
# |
$a Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях
$e Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук
$e 05.27.06
$e Защищена 25.06.02
$e Утв. 23.04.03
$f Завадский Сергей Михайлович
|
| 210 |
# |
# |
$a Мн.
$d 2002
|
| 300 |
# |
# |
$a Библиогр.: л. 101-109 (125 назв.).
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24113
$a ПОДЛОЖКИ (электроника)
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12168
$a ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34175
$a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34161
$a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19558
$a НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18371
$a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar12169
$a ІОННА-ПЛАЗМЕННЫЯ ТЭХНАЛОГІІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34176
$a ТАНКАПЛЁНАЧНЫЯ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34162
$a ТОНКІЯ ПЛЁНКІ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar19559
$a НАНЯСЕННЕ ПАКРЫЦЦЯЎ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar24114
$a ПАДЛОЖКІ (электроніка)
$2 DVNLB
|
| 615 |
# |
# |
$a Белорусский национальный документ
|
| 675 |
# |
# |
$a 621.382.049.772.1.002:621.793(043.3)
$v 3
$z rus
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.27.06
$2 nsnrrb
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-NLB-ar2637692
$a Завадский
$b С. М.
$g Сергей Михайлович
$c кандидат технических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20040113
$g psbo
|
| 801 |
# |
1 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20060316
$g psbo
|
| 856 |
4 |
# |
$u http://content.nlb.by/content/dav/nlb/DDC/DD/26Ad3964.pdf
|
