Многомерное моделирование имплантационных и твердофазных диффузионных процессов в технологии микроэлектроники методом молекулярной динамики и в континуальном приближении: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: 05.27.01 / Нелаев Владислав Викторович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Нелаев, В. В. (род. 1941) |
| Опубликовано: | Мн. , 2001 |
| Физические характеристики: |
39 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||