Многомерное моделирование имплантационных и твердофазных диффузионных процессов в технологии микроэлектроники методом молекулярной динамики и в континуальном приближении: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: 05.27.01 / Нелаев Владислав Викторович

Сохранено в:
Шифр документа: 2Ад49418, 2Н//180083(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Нелаев, В. В. (род. 1941)
Опубликовано: Мн. , 2001
Физические характеристики: 39 с.
Язык: Русский
Предмет:
КРИСТАЛЛОГРАФИЯ
КРИСТАЛЛОФИЗИКА
ПРИМЕСИ
ДИФФУЗИЯ
МОЛЕКУЛЯРНАЯ ФИЗИКА
МОЛЕКУЛЯРНЫЕ СТРУКТУРЫ
МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
КРЫШТАЛЯГРАФІЯ
КРЫШТАЛЯФІЗІКА
ДЫФУЗІЯ
МАЛЕКУЛЯРНЫЯ СТРУКТУРЫ
МІКРАЭЛЕКТРОНІКА
ПАЎПРАВАДНІКІ
КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ
ПОЛУПРОВОДНИКИ
ПРЫМЕСІ
МАЛЕКУЛЯРНАЯ ФІЗІКА
ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ
Е-документ: E-документ
00000cam0a22000004ia4500
001 BY-NLB-br319804
005 20211110170338.3
100 # # $a 20010304d2001 u y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a by 
105 # # $a y 001yy 
109 # # $a aa  $a ac 
200 1 # $a Многомерное моделирование имплантационных и твердофазных диффузионных процессов в технологии микроэлектроники методом молекулярной динамики и в континуальном приближении  $e Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук  $e 05.27.01  $f Нелаев Владислав Викторович  $g Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники 
210 # # $a Мн.  $d 2001 
215 # # $a 39 с. 
300 # # $a Рез. парал.: рус., белорус., англ 
300 # # $a Библиогр.: c. 25-35 (95 назв.). 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15210  $a КРИСТАЛЛОГРАФИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15220  $a КРИСТАЛЛОФИЗИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25538  $a ПРИМЕСИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9565  $a ДИФФУЗИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18723  $a МОЛЕКУЛЯРНАЯ ФИЗИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18737  $a МОЛЕКУЛЯРНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18370  $a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15092  $a КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15211  $a КРЫШТАЛЯГРАФІЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15221  $a КРЫШТАЛЯФІЗІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9566  $a ДЫФУЗІЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18738  $a МАЛЕКУЛЯРНЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18371  $a МІКРАЭЛЕКТРОНІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24595  $a ПАЎПРАВАДНІКІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar15093  $a КРЭМНІЕВЫЯ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar24594  $a ПОЛУПРОВОДНИКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar25539  $a ПРЫМЕСІ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar18724  $a МАЛЕКУЛЯРНАЯ ФІЗІКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar87382  $a ДЕФЕКТЫ В КРИСТАЛЛАХ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 548.4(043.3)  $v 3  $z rus 
675 # # $a 621.382.049.77.002(043.3)  $v 3  $z rus 
686 # # $a 31.15.17  $2 rugasnti 
686 # # $a 28.17.23  $2 rugasnti 
686 # # $a 47.03.05  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.19.11  $2 rugasnti 
686 # # $a 05.27.01  $2 nsnrrb 
700 # 1 $3 BY-SEK-295377  $a Нелаев  $b В. В.  $g Владислав Викторович  $c доктор физико-математических наук  $f род. 1941 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20010304  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br319804&fileID=934116 

Схожие документы