Многомерное моделирование имплантационных и твердофазных диффузионных процессов в технологии микроэлектроники методом молекулярной динамики и в континуальном приближении: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра физ.-мат. наук: 05.27.01 / Нелаев Владислав Викторович
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Нелаев, В. В. (род. 1941) |
| Апублікавана: | Мн. , 2001 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
39 с.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: | |
| Е-дакумент: |
E-дакумент
|
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 2 , даступна: 2 | Даступна Замовіць | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||