Разработка конструктивно-технологических методов создания тонкопленочных контактов интегральных схем, основанных на физических моделях отказов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Ивкин Виктор Михайлович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ивкин, В. М. (род. 1949) |
| Опубликовано: | Минск , 1984 |
| Физические характеристики: |
17 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||