Разработка конструктивно-технологических методов создания тонкопленочных контактов интегральных схем, основанных на физических моделях отказов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Ивкин Виктор Михайлович

Сохранено в:
Шифр документа: Ба199079,
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Ивкин, В. М. (род. 1949)
Опубликовано: Минск , 1984
Физические характеристики: 17 с.
Язык: Русский
Предмет:
Е-документ: E-документ
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br229842
005 20191218112140.0
100 # # $a 19980907d1984 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a BY 
105 # # $a y m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Разработка конструктивно-технологических методов создания тонкопленочных контактов интегральных схем, основанных на физических моделях отказов  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование  $f Ивкин Виктор Михайлович  $g Минский радиотехнический институт 
210 # # $a Минск  $d 1984 
215 # # $a 17 с. 
320 # # $a Библиография: с. 16―17 (19 назв.) 
333 # # $a Для служебного пользования 
606 0 # $3 BY-NLB-ar11906  $a ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar14454  $a КОНСТРУКТИВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar33904  $a ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34098  $a ТОКОПРОВОДЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
615 # # $a Белорусский национальный документ 
675 # # $a 621.382.049.772.1(043.3)  $v 4  $z rus 
686 # # $a 05.12.18  $2 nsnrsssr 
686 # # $a 47.33.31  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-180467  $a Ивкин  $b В. М.  $g Виктор Михайлович  $f род. 1949 
712 0 2 $3 BY-NLB-ar5102567  $a Минский радиотехнический институт  $4 995  $4 595 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 19980907  $g psbo 
801 # 1 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20060316  $g psbo 
856 4 # $u https://elib.nlb.by:8070/viewer?markID=BY-NLB-br229842&fileID=215441