Разработка конструкторско-технологических методов создания изоляции элементов интегральных схем: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.01 / Бел. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Мучак, И. Ф. (род. 1942) |
| Опубликовано: | Мн. , 1997 |
| Физические характеристики: |
34 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: | |
| Е-документ: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||