Методы оптико-электронной регистрации критических размеров субмикронных планарных структур изделий микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Трапашко Георгий Алексеевич
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Трапашко, Г. А. |
| Veröffentlicht: | Минск , 2014 |
| Beschreibung: |
141 л. : ил.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: |
E-документ
|
Зал диссертаций
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Без заказа | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||