Автоматический контроль топологии субмикронных планарных структур в производстве изделий микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук: 05.27.06: защищена 03.04.08: утверждена 25.06.08 / Аваков Сергей Мирзоевич
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Аваков, С. М. (род. 1955) |
| Published: | Минск , 2007 |
| Physical Description: |
301 л. : ил.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
Зал диссертаций
| All : 1 , available: 1 | Available Without order | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||