Методы оптико-электронной регистрации критических размеров субмикронных планарных структур изделий микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Трапашко Георгий Алексеевич
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Трапашко, Г. А. |
| Veröffentlicht: | Минск , 2014 |
| Beschreibung: |
21 с. : ил.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Verfügbar Bestellen | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||