Методы оптико-электронной регистрации критических размеров субмикронных планарных структур изделий микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Трапашко Георгий Алексеевич
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Трапашко, Г. А. |
| Published: | Минск , 2014 |
| Physical Description: |
141 л. : ил.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
Зал диссертаций
| All : 1 , available: 1 | Available Without order | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||