Создание геттерирующих слоев на кремниевых пластинах методом химического травления наружного слоя кремния и их использование в технологии полупроводниковых ИС [[Микроформа]]: Дис. ... канд. техн. наук: (05.27.01)
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Шурдук, Б. К. |
| Апублікавана: | Киев , 1989 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
212 с.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||